隨著科技的發展，真空鍍膜工藝技術已經在：太陽能集熱管、太陽能電池、磁帶、光盤、半導體器件、光學器件、光電顯示器件、玻璃、工模具和切削刀具的超硬涂層、汽輪機葉片的抗熱涂層、五金制品、手表、手機和眼鏡的裝飾、塑料制品金屬化、包裝用塑料薄膜等多個領域廣泛應用。

真空鍍膜設備有多種規格的單室機和多室連續機。工藝方法上可分為：真空蒸鍍、離子鍍、濺射鍍、束流沉積鍍以及分子束外延等。真空鍍膜設備的運行性能直接影響生產工藝、產品質量和生產，為了使設備的運行性能正常，必須建立和完善設備的；維護與維修制度、維護內容、維修標準等。

一、維護與維修制度，為了使真空鍍膜設備在維護、維修及生產過程中出現問題能得到及時收集、傳遞、分析和處理. 而制定的管理制度。

1.有完善的制度,如設備的使用操作規程。維修人員在維修時應掛放“正在維修”牌，并切斷電源以防他人使用機器設備等.

2.在工廠生產管理中,設備的維護與維修是重要的一方面。應該有專職的、能力強的維修人員負責。

二、設備的維護，維護可分為：日常維護和定期維護。

1.日常維護就是在當天生產中發現設備有不良跡象，就馬上解決。發現機械泵的油少了就要添加，不要認為這油是定期更換的，等到了時間在維護，可能泵的轉子就會磨損嚴重了。再比如工件轉架的軸承有些卡，就要更換軸承，而等到它徹底的壞了再換，問題可就大了，可能引起轉架電機燒毀等。

2.定期維護，有人會問有了日常維護還有必要定期維護嗎？其實每一種設備都有自己使用壽命，比如擴散泵用的硅油使用壽命為2年左右，我就規定1年半就把它換掉，這樣做是不是浪費，我覺的不浪費，從設備服務于生產來說是值得的，老板最不希望看到的是機器在生產階段出現問題。只要你把日常維護和定期維護做好了，在延長設備壽命的同時，生產過程中出現故障的幾率也大大降低，生產效率也提高了。

三、設備維修：說到維修很多人都頭疼的是真空部分的漏氣，真空部分出了問題比較麻煩，再加上很多公司沒有檢漏儀，這就要分階段來找。真空抽不上去原因可能有以下幾點：

1.也許是漏率偏高就是我們常說的有漏氣；

2.也許是真空機組的抽氣能力不夠了，油被污染或氧化了；

3.也許是真空室內太臟放氣。

或者是這幾種可能都有。出現問題，首先是要判斷，是不是拆裝過東西？會不會漏水？閥門打開了嗎？根據現象判斷原因，然后再去根據判斷找問題，可能會收到事半功倍的效果。有次我們清洗弧蒸發源，清洗完裝上一試抽真空比以前慢了，就懷疑是弧蒸發源漏氣，后來經過檢查是弧蒸發源的一個密封圈本來是要更換的，在裝配時認為還可以就沒有更換，結果就造成了漏氣。